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        靶材在真空電鍍中的用途

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        靶材在真空電鍍中的用途

        發布日期:2016-03-29 00:00 來源:http://www.sabiluna.com 點擊:

            靶材的作用很多,而且市場發展空間較大,它在很多領域都有很好的用途。新型的濺鍍設備幾乎都使用強力磁鐵將電子成螺旋狀運動以加速靶材周圍的氬氣離子化, 造成靶與氬氣離子間的撞擊機率增加,

          提高濺鍍速率。一般金屬鍍膜大都采用直流濺鍍,而不導電的陶磁材料則使用RF交流濺鍍,基本的原理是在真空中利用輝光放電(glow discharge)將氬氣(Ar)離子撞擊靶材(target)表面,電漿中的陽離子會加速沖向作為被濺鍍材的負電極表面,這個沖擊將使靶材的物質飛出而沉積在基板上形成薄膜。

          一般來說,利用濺鍍制程進行薄膜披覆有幾項特點:(1)金屬、合金或絕緣物均可做成薄膜材料。(2)再適當的設定條件下可將多元復雜的靶材制作出同一組成的薄膜。(3)利用放電氣氛中加入氧或其它的活性氣體,可以制作靶材物質與氣體分子的混合物或化合物。(4)靶材輸入電流及濺射時間可以控制,容易得到高精度的膜厚。(5)較其它制程利于生產大面積的均一薄膜。(6)濺射粒子幾不受重力影響,靶材與基板位置可自由安排。


        相關標簽:合金靶材

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